你知道精密位移台运行原理吗：

精密位移台包括对准模块固定板、移动板、x方向移动装置、第一Y方向移动装置、第二Y方向移动装置、，分别对应移动板。x方向动力装置使移动板沿x方向往复运动，第一y方向动力装置使移动板沿y方向往复运动。

第二Y方向动力装置使第二Y方向移动装置在Y方向往复运动，第二Y方向移动装置使移动板在Y方向往复运动。

x向移动装置包括通过轴承活动连接x向移动板，x向移动板的下端面上方设有沿对准模块固定板上的第一固定板滑槽往复运动的滑轨、和沿滑槽往复运动的滑轨。

第一y向移动装置包括通过轴承活动连接第一y向移动板，第一y向移动板的下端面上方设有沿对准模块固定板上的第二固定板的滑槽往复运动的滑轨、和沿滑槽往复运动的滑轨。

第二Y向移动装置设有通过轴承活动连接第二Y向移动板，第二Y向移动板的下端面设有沿对准模块固定板上的第三固定板滑槽往复运动的滑轨、和沿滑槽往复运动的滑轨。

x向动力装置包括电机和与电机固定连接的偏心轮，偏心轮通过弹簧与x向移动板连接，消除了偏心轮与x向移动板之间的间隙。

第一y向动力装置包括电机和与电机固定连接的偏心轮，偏心轮通过弹簧与第一y向移动板连接，弹簧消除偏心轮与第一y向移动板之间的间隙。

第二Y向动力装置包括电机和固定连接在电机上的偏心轮，偏心轮通过弹簧与第二Y向移动板连接，弹簧消除偏心轮与第二Y向移动板之间的间隙。