手动位移平台预紧力对固有频率会产生什么影响吗：

从实验中可以得知，精密手动位移平台的预紧力（f）越大，工作台的刚度（δi）越高。关系曲线如图8所示。根据有限元分析，随着f的增加，固有频率逐渐增加。当将10μm的位移负载施加到微动平台x时，固有频率从737 hz增加到1 973 hz，即，f对微动平台的固有频率具有决定性的影响。通过实验和有限元分析，可以知道微动平台的固有频率和δi随着f的增加而增加。

精确的手动位移平台可以从参数分析和实验的结果中获知。在设计工作台时，不仅要考虑柔性铰链的尺寸对工作台固有频率的影响，而且还要考虑在微动工作台加工过程中线切割对微动的影响。工作台的影响以及安装过程中预紧力对工作台整体性能的影响，从总体上看结构设计：

②在工作台铰链上的应力小于材料的允许应力的条件下，选择合适的工作台刚度并最大化工作台的固有频率。

③通过调整x和y方向上双铰链的尺寸，可以使x和y方向上的固有频率和刚度更接近，从而使两个方向上的性能相似，这有利于工作台的控制。